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金属拉力试验机中传感器的技术

时间:2017-09-05 16:17:56点击: 次

  今天给大家介绍一下关于金属拉力试验机中的传感器的四项重点发展的技术。如以下所示:
  第一是MEMS工艺和新一代的固态传感器微结构的制造工艺:深反应离子刻蚀(DRIE)工艺或IGP工艺;封装工艺:如常温键合倒装焊接、无应力微薄结构封装、多芯片的组装工艺;新型的传感器:如用微硅电容传感器、微硅质量流量传感器、航空是用动态传感器、微传感器,汽车有专用的压力、加速度传感器,环保需要用微化学传感器等。
  第二是集成化工艺和多变量的复合传感器的微结构集成的制造工艺;工业控制用多变量的复合传感器,如:压力、静压和温度三变量的传感器;气压、风力、温度和湿度四变量的传感器;也有微硅复合应变压力传感器;还有陈列传感器。
  第三是金属拉力试验机智能化技术与智能传感器信号有线或无线探测、变换的处理、逻辑的判断、功能的计算、双向的通讯、自诊断等智能化技术;智能多变量传感器,智能电量传感器和各种智能传感器、变送器。
  第四是网络化的技术和网络化传感器传感器技术;网络化传感器,使传感器具有工了业化的标准接口和协议功能。

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